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莱宝真空提供平板显示器制造的优化解决方案

莱宝真空推出针对诸如平板显示器等应用的薄膜制备工艺优化的多种真空系统及附件。在1 月 27 日-29 日的韩国半导体工业技术展览会上,欧瑞康莱宝真空邀请客户更多地了解这些富含创新技术的 DRYVAC 系统。

提供最高的抽速和最低的运行成本 (CoO) 是我们的使命。我们通过将高效抽控装置与可选节能程序(如运转模式选择)相结合完成这一使命。

欧瑞康莱宝真空引领用于各类镀膜应用的整套真空解决方案的开发。莱宝在理解镀膜技术要求和您的业务支持需求方面的专长是极为出众的。

基于对用户需求的深度理解,我们能够提供一系列优化的标准组件,它们具有紧凑的结构、最高的技术标准和出色的可靠性。这些结构紧凑和智能化的真空解决方案由高真空泵、罗茨泵/干泵机组以及控制装置组成。

由多台DRYVAC 干式螺杆泵与 RUVAC WH 系列罗茨泵组合而成的真空系统是平板显示应用的最佳解决方案,例如:用于进出片室的快速抽空、过渡室和薄膜沉积室的抽空。在同类泵中,它们提供最快的抽空时间和最高的抽速。通过标准化设计,欧瑞康莱宝真空其使所提供系统具有极高的用户友好性。用户还可得益于诸如电气连接、吹扫气体和冷却水等的标准化接口、方便的设备维护及优化的备泵管理。

系统在以下主要应用中表现优异:

  • /过渡室抽空
  • 阵列溅射镀膜TSPT /彩色滤光片溅射镀膜 FSPT /液晶盒制备
  • /蒸发镀膜/ ...
  • TFT-PECVD /TFE-PECVD
  • VCD 光刻胶涂布

 

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